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《速報／人テク2017名古屋》落下粒子パーティクルモニタ【インテクノス・ジャパン：小間番号216】
クリーンルームや製造環境の清浄度管理において、落下し製品に付着する15µm以上の粗大粒子を常時監視することで、製品の信頼性向上に貢献します。
クリーンルーム清浄度クラスISO14644-1での管理は、浮遊粒子（0.1-5µm）をエアーパーティクルカウンタにより測定するのが従来の方法である。
当社が今回リリースする落下粒子パーティクルモニタ「APMON」は、製品表面に付着し、品質の信頼性に影響を与える15µm以上の粗大粒子をリアルタイムに計数することで、より高いレベルでの品質・信頼性向上に貢献する。
従来は、落下粒子を採取プレートなどに堆積させ、目視に近い装置や顕微鏡などで測定・解析してきた。しかし、この落下粒子測定では、結果を見るだけで、リアルタイムのリスクを評価できず、出荷製品とのトレースが取れない。
「APMON」は製品の製造局所に設置し、品質に影響を及ぼす落下粒子の常時監視を可能にした。15-1000µmまでの粒径毎の粒子をリアルタイムに計数するだけでなく、一定時間の堆積数を算出してくれる。発塵警報やクリーニング後の効果計測にも利用できる。
落下する粗大粒子は、主に人間から発生するケースが多い。
それ故、「APMON」はクリーンルーム用ロボットを使用するウエハ製造などの清浄度レベルISO 1-5級といった環境よりも、人間が作業するISO 6-9級程度の環境、または準クリーンルームなどで求められる技術である。
これは、例えば5-100µmが性能に影響する精密部品・自動車部品製造工程に於いても有効な監視技術であり、半導体、塗装環境、精密成形・組立、食品飲料、薬品・医療など様々な分野において、海外では既に導入が進み、評価されている。。
日本初 落下粒子パーティクルモニタ 「APMON」
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