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共同で電子材料を開発【BASFジャパン】

2015年7月6日

BASFとフラウンホーファーIPMS-CNTが共同で電子材料を開発


(本資料は2015年6月30日にBASF本社(ドイツ)とフラウンホーファーIPMS-CNT(ドイツ)が共同発表したプレスリリースの和訳です。)


■ BASFとフラウンホーファーIPMS-CNTが 、半導体産業向け先進材料の開発で提携
■ お客様向けに高度なアプリケーション・テストを実施


BASF(本社:ドイツ ルートヴィッヒスハーフェン)とフラウンホーファーIPMS-CNT(本社:ドイツ  ドレスデン)は 2015年6月30日、半導体産業向けの革新的ソリューションの開発に向けて提携関係を結んだことを発表しました。BASFは欧州最大の応用研究機関であるフラウンホーファーIPMSのナノ電子技術センター (CNT) に、メッキ配線用の最新設備を導入しました。

CNTではパイロット・テストを通して、BASFのお客様向けに最新技術と革新的な化学品の開発を行います。BASFとフラウンホーファーは、お客様と同様のツールや技術を備えているため、クオリフィケーションでの手間を大幅に軽減させることが可能で、お客様の開発時間の節約、コスト削減し、効率向上にもつながります。CNTでのパイロット・テストの完了後は、先進電子材料の製造にすぐ使えるプロセスをお客様に提供することができるようになります。

BASF電子材料ビジネスユニットのシニア・バイスプレジデントであるDr. ローター・ラウピヒラーは次のように述べています。「ドレスデンにあるフラウンホーファーIPMS-CNTとの提携は、半導体産業の高まる需要に応えようとするBASFのコミットメントの証です。これにより世界中のお客様が、高度なマイクロチップ技術向けの私たちの革新的なソリューションを実生産条件下で評価することができるようになります。IPMS-CNTが加わったBASFのグローバルなR&Dネットワークを活用し、今後もお客様と協力し、既存の基準を上回る半導体産業向け製品の開発を行っていきます。」

フラウンホーファー・ナノ電子技術センターのビジネスユニット・マネージャーであるDr. ロミー・リスケ氏は次のように述べています。「機能性、速度、エネルギー効率の面でマイクロチップが満たさなければならない要件は厳しさを増しています。BASFとともに材料やプロセスの開発を進めることは、こうした要件の達成に向けた重要な一歩です。」

マイクロチップはエレクトロニクス産業、例えばコンピュータや携帯電話、自動車の電子部品などに幅広く用いられています。マイクロチップはクリーンルームと呼ばれる、非常にクリーンな環境で通常、直径300mmの単結晶シリコンウェハー上で製造されます。マイクロチップ内の高密度微細回路はメッキにより作られます。


ドレスデンにあるフラウンホーファーIPMS-CNTのクリーンルーム


フラウンホーファーIPMS(フォトニック・マイクロシステム研究所)ナノ電子技術センターについて
フラウンホーファー研究機構は、23,000名のスタッフを抱える欧州最大の応用研究機関です。フラウンホーファーIPMSは、ドイツにある67の研究所の1つであり、応用研究と“シリコンサクソニー”と呼ばれる工業地区にある半導体生産施設との緊密な関係を示す組織となっています。フラウンホーファーIPMSはナノ電子技術センターにおいて、マイクロチップ製造業者、部品サプライヤー、R&Dパートナーのために、300mmのシリコンウェハーに関する応用研究を行っています。 IPMS-CNTで利用可能なサービスには、ナノパターニングのプロセスモジュール、高誘電率デバイス、インターコネクト/銅メタライゼーション、サブnmレベルの特性評価などがあります。幅広い専門知識を持ち、業界基準を網羅しているため、開発と新たなプロセスの統合を迅速かつ、お客様のプロセスにリスクをもたらすことなく行うことを可能にし、生産コストを最小限に抑え、時間を節約します。 www.ipms.fraunhofer.de


BASFについて
BASF(ビーエーエスエフ)は2015年、創立150周年を迎え、これまで以上に化学でいい関係をつくっていきます。製品ラインは、化学品、プラスチック、高性能製品、農業関連製品、石油・ガスと多岐にわたっています。BASFは、世界をリードする化学会社として、経済的な成功、社会的責任、そして環境保護を同時に実現しています。また、BASFは科学とイノベーションを通して現代社会や将来のニーズを提示しながら、ほぼすべての産業のお客様を支援しています。BASFの製品とソリューションは、資源の確保に貢献し、栄養価の高い食品を提供するとともに、生活の質の向上に寄与しています。BASFは「私たちは持続可能な将来のために、化学でいい関係をつくります」を企業目標に掲げ、これらの活動を実施しています。2014年の売上は約740億ユーロで、従業員数は約11万3000人です。 www.basf.com(英語)、newsroom.basf.com(英語)、www.japan.basf.com(日本語)をご覧ください。








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