CNC画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」を発売【ニコン】

2018年8月21日

ニコンNEXIV（ネクシブ）シリーズの中で最高精度の測定を実現
CNC画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」を発売

株式会社ニコン（社長：牛田一雄、東京都港区）の子会社、株式会社ニコンインステック（社長：木村俊一、東京都港区）は、半導体パッケージや電子部品、機械部品など、精密な被検物を対象としたCNC画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」を発売します。

発売概要

商品名　　　　CNC画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」
価格（税別）　　2,200万円～（価格は仕様により異なります）
発売時期　　　　2018年10月1日予定

開発の背景

CNC画像測定システム「NEXIVシリーズ」は、ニコン独自の光学技術と画像処理技術を用いて、各種精密機器や電子部品などの寸法を自動で測定する装置です。取得した画像を解析し、エッジを高速で正確に検出することにより、複雑な形状の被検物も素早く測定することができます。
今回発売するCNC画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」は、ご好評いただいている「NEXIV VMZ-Rシリーズ」の基本性能を踏襲し、「NEXIVシリーズ」の中で最高精度の測定を実現したモデルです。厳密な品質管理が要求される各種測定用途に、幅広く対応いたします。

主な特長

1. 高精度・高速な測定
高精度リニアエンコーダと精密動作ステージにより、高い測定精度を発揮します。また、画像転送速度（フレームレート：30fps）が速く、光量調整時間も短いため、短時間での測定を可能にします。

2. 多様な被検物への対応
高性能TTL※レーザーオートフォーカスにより、0.1mmレベルの透明サンプルの厚みも検出可能です。また、リング照明の角度調整機構により、複雑な形状をしたエッジの検出技術も向上。機械部品、モールド部品から高密度プリント基板、および半導体の300mmウェハまで、多種多様な測定ニーズに応えます。

※TTL：Through The Lensの略で、レンズを通して得た光量を測定する技術。

3. 高い操作性と充実したソフトウェア
ティーチングファイル作成時の操作手順が少なく、「画面のカスタマイズ」や「オフラインティーチング」などの充実した機能により、寸法測定を快適に行えます。
また、「NEXIV VMZ-Rシリーズ」で高い評価をいただいている各種ソフトウェアに対応し、画像の合成・解析や検査成績書の作成など、用途に合わせた機能の追加が可能です。