「微細異物除去装置」を開発【NTN】

2012年3月15日

【新たな修正技術によりFPD基板製造工程の生産性向上に貢献】

NTN㈱（以下、NTN）は、新たな修正技術で、フラットパネルディスプレイ（以下、FPD）用カラーフィルタ基板などに付着するミクロンサイズの異物を除去する「微細異物除去装置」を開発しました。

FPD用カラーフィルタ基板やその製造に使用する露光用フォトマスク基板の製造工程では、パネルの面積拡大・高画質化に伴い、ミクロンサイズの異物が基板表面へ付着したり、成膜内に埋没したりすることによる不良発生率が高まっています。

異物の除去方法には、従来のレーザ照射や研磨テープによる方法がありますが、異物の一部が残ったり、異物の周辺部まで除去してしまう場合があり、正確に除去する技術が求められています。

今回、NTNが開発した「微細異物除去装置」は、ミクロンサイズの異物を直接除去する新形状の専用針を備え、モニタ画面上のマウスポインタの簡単な操作で異物位置を指示することができます。基板表面に付着・埋没した異物を正確に取り除くとともに、異物周辺部への損傷を低減します。また、取り除いた異物や針に付着した異物を回収する機能を備えており、除去作業後の洗浄工程を省略・省人・簡素化できます。

NTNは、これまで大型液晶や有機ELなどのFPD基板製造工程で発生する微小欠陥の修正技術向上に取り組んできました。今回開発した新たな修正技術によって、世界で市場拡大する大型液晶や有機EL、スマートフォン・タブレットPC向けパネルなどFPD基板製造工程のさらなる生産性向上に貢献するとともに、グローバルに市場展開を進めてまいります。