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「微細異物除去装置」を開発【NTN】

2012年3月15日 【新たな修正技術によりFPD基板製造工程の生産性向上に貢献】 NTN㈱（以下、NTN）は、新たな修正技術で、フラットパネルディスプレイ（以下、FPD）用カラーフィルタ基板などに付着するミクロンサイズの異物を除去する「微細異物除去装置」を開発しました。FPD用カラーフィルタ基板やその製造に使用する...