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新製品 ： SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置「WASAVIシリーズSICA88」を発表【レーザーテック】

2015年9月24日 レーザーテック㈱は、このほど表面検査およびフォトルミネッセンス（PL）検査の両方を備え、SiCウェハの表面と内部の欠陥を検出、高精度分類まで同時 に行えるSiCウェハ欠陥検査/レビュー装置SICA88を製品化いたしました。すでに受注活動を開始し、ローム㈱様を始めとし、複数社での採用が決定し てお...