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サファイア, SiCなどの硬脆材料向け 4軸5チャックテーブル構造フルオートグラインダ「DFG8830」を開発 【ディスコ】

2011年11月28日 ㈱ディスコ（本社：東京都大田区、社長：関家一馬）は、4軸5チャックテーブル構造のフルオートグラインダ「DFG8830」を開発しました。本装置はSEMICON Japan 2011（12/7-9：幕張メッセ）に出展します。 開発の背景 LED搭載製品の拡大に伴い、需要の増加・大口径化が進むLED基板用サファイアウェーハ...