大型部品を画像測定するCNC画像測定システム「iNEXIV VMA-4540V」、タッチプローブの装着が可能な「iNEXIV VMA-4540」を発売【ニコン】

2014年2月17日

㈱ニコン（社長：木村　眞琴、東京都千代田区）は、広視野で使いやすく、大型部品や高さのある部品を測定するCNC画像測定システム「iNEXIV VMA-4540V」「iNEXIV VMA-4540」を発売します。

● 「iNEXIV VMA-4540V」発売概要

商品名： CNC画像測定システム「iNEXIV VMA-4540V」

価格（税別）： 7,166,750円～
（価格は仕様により異なります）

発売予定： 2014年4月1日

● 「iNEXIV VMA-4540」発売概要

商品名： CNC画像測定システム「iNEXIV VMA-4540」

価格（税別）： 7,236,750円～
（価格は仕様により異なります）

発売予定： 2014年4月1日

● 開発の背景

CNC画像測定システムは、光学測定技術とコンピュータによる画像処理技術を用いて、各種精密機器・電子部品等の寸法を自動測定する装置です。CCDカメラで取り込んだ画像から被検物のエッジを正確に検出、データ処理をすることにより、複雑な形状の測定を可能にします。

今回発売するCNC画像測定システム「iNEXIV VMA-4540V」「iNEXIV VMA-4540」は、新たに「iNEXIVシリーズ」に加わる、優れたコストパフォーマンスを持つモデルです。2007年1月に発売し好評を得ている「iNEXIV VMA-2520」よりも大きな測定ストロークを実現しました。「iNEXIV VMA-4540V」は画像測定が可能、「iNEXIV VMA-4540」は画像測定に加え、オプションとしてタッチプローブの装着が可能です。

● 主な特長

1．大きな測定ストローク
ストロークが大きいため、大型プリント基板や高さのある樹脂射出成型品の高速測定、小物部品を多数並べての自動測定により、検査コストの大幅な削減に貢献します。

2．広視野、クリアな画像
最大13mmx10mm^※の広視野を確保し、被検物とステージの平行出しや、測定位置の確認が容易です。iNEXIVシリーズ専用に設計した、高い解像力（NA 0.11）のアポクロマート対物レンズにより、倍率誤差や色にじみの少ない非常にクリアな画像が得られます。
被検物の形状に応じて同軸落射照明、透過照明、8分割リング照明の選択や、光量・照射方向を最適化することにより、見にくいエッジもシャープに捉えることができます。
※0.35倍率時

3．高速・高精度な画像AF（オートフォーカス）
高速で繰り返し精度の高い画像AFにより、被検物表面や輪郭エッジへの合焦だけでなく、被検物上の基準面設定や、高さ・深さ測定が可能です。非接触測定のため、被検物を損傷・変形させる危険がありません。
オプションとしてレーザーAFを搭載できます。表面が平らな被検物を測定する場合、どのような倍率においても、焦点深度に関わりなく高い繰り返し精度を確保できます。

4．複雑な立体形状測定（オプション）
「iNEXIV VMA-4540」にレニショー社製の「タッチトリガープローブTP20」または「TP200」（ともに別売）を搭載できます。これにより、画像測定だけではなく、見えない部分の寸法や角度の測定も可能です。
また、容易な操作で、画像測定と「タッチトリガープローブ」による測定を1つのティーチングファイルで完結させることができます。