ニュース
微細な表面形状と物性などを3Dで観察・測定するナノサーチ顕微鏡 SFT-4500を発売【島津製作所】
2013年5月29日
島津製作所は、オリンパス㈱との共同開発・販売製品であるナノサーチ® 顕微鏡の後継機種として、ナノサーチ顕微鏡「SFT-4500」を6月3日に発売します。本機の販売は両社で行い、オリンパス㈱からはナノサーチ顕微鏡「LEXT OLS4500」の製品名で同日より販売されます。
ナノサーチ顕微鏡は、光学顕微鏡、レーザー顕微鏡、プローブ顕微鏡（SPM: Scanning Probe Microscope）*1を1台に搭載した複合機で、光学顕微鏡・レーザー顕微鏡でミリメートル領域からマイクロメートル領域を観察し、必要な部位を特定した上で、確実にSPM観察が行えます（スコープバリアフリー機能）。SPMでは、マイクロメートルからナノメートル*2領域の三次元（3D）観察だけでなく、電位、電流、粘弾性などの表面物性も同時に取得できます。
例えば、材料表面の形状測定を行う際、試料を載せかえることなく多様な観察と、最適な倍率での測定が1台でシームレスに可能です。ミリ単位の比較的大きなものから、ナノレベルの超微小なものまで、金属、半導体、高分子、粉体、生体材料などさまざまな試料の3D観察・測定ができます。
*1 微小なプローブ（探針）を対象のサンプル表面に近づけることで、超微小なナノ領域の観察と測定を行うことができます。
*2 ナノメートルは1×10 -9メートル=10億分の1メートル。
開発の背景
近年、携帯情報端末や産業機器、機能性材料が小型化・高性能化されるに伴い、厳密な品質管理や故障解析が必要となり、表面形状や段差、表面粗さを測定できる、信頼性の高い三次元形状測定機が求められています。
また、微細表面形状の観察・測定が求められる分野は自動車や高機能素材など、ますます広がりを見せています。研究開発分野においても、金属、半導体などいわゆる硬い試料だけでなく、樹脂、触媒、薄膜、生体など柔らかい試料をナノレベルで観察する必要に迫られています。観察対象の形状も複雑な形状をもつ試料や粘着性のある試料などに多様化し、研究開発から生産に近い場面まで、あらゆる部門で使用できる顕微鏡への期待が高まっています。
ナノサーチ顕微鏡は3次元表面形状と物性を低倍～超高倍率で観察・測定できる顕微鏡として、産業および学術研究の分野にて広く使用されてきました。このたび、より高精度かつ広範囲な測定・観察を行いたいという要望に応えるため、後継機種を発売します。
本製品の主な特長
1． 新開発小型SPMヘッドによりノイズ低減を実現
本製品では電動レボルバに装着する対物レンズ型SPMヘッドを採用しており、対物レンズとカンチレバー先端を同軸、同位置に切り替えられます。このため、SPM観察に移行する際に、観察ポイントを見失うことがありません。さらに新開発した小型SPMヘッドは剛性を高めることで従来製品に比べて画像ノイズを低減し、追従性の向上を実現しました。
2. より広い領域で高解像観察と高精度測定が可能
通常、広い領域を観るためには低倍率観察をしますが、低倍率では画像の解像度には限界があります。SFT-4500は、微細な部分を高解像度で確認できるよう、高倍率で観察した画像を、最大625枚貼り合わせるステッチング機能により、広い領域での高解像観察・高精度測定を可能にしています。
3． 自動で3D画像を取り込む機能など、初心者でも扱える使いやすさを追求
従来、レーザー顕微鏡の3D画像を取り込む際は、複雑な設定（明るさ、上限・下限位置）が必要でしたが、今回新たに搭載されたスマートスキャン機能により、ワンクリックで簡単に3D画像の取り込みができます。また、SPMで観察する視野をより広い視野画像から自在に設定できるナビゲータ機能を搭載するなど、初心者でも熟練者と同じ結果を得られる使いやすさを追求しました。
4． 従来機の約2倍の速さで3D画像取得が可能
新しく搭載された超高速モードを用いることで、従来の高速モードの約2倍、高精細モードの約9倍の速さで3D画像の取得が可能です。スピーディな形状観察・測定が可能となり、検査効率の向上が期待できます。
株式会社島津製作所ホームページはこちら
