レーザ光でMEMS、マイクロマシンを評価レーザドップラ振動計用顕微鏡ユニットLV-0381/LV-0383【小野測器】

2012年10月17日

㈱小野測器（社長小野雅道）は、レーザドップラ振動計用、顕微鏡ユニットLV-0381/三次元顕微鏡ユニットLV-0383を10月17日より受注開始しますので、下記の通りお知らせ致します。

1．概要

顕微鏡ユニットLV-0381/三次元顕微鏡ユニットLV-0383は、微小物体の振動検出用のレーザドップラ振動計用、光学ユニットです。接触式では検出が困難なMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）や圧電素子、微小構造体、超音波駆動の振動検出を可能にします。LV-0381は1軸方向用の顕微鏡ユニットで、LV-0383三次元顕微鏡ユニットは3台のレーザドップラ振動計により、3軸方向に発生する振動を非接触で検出します。
各ユニットは同軸落射照明と倍率の違う2台のディジタルビデオカメラ（オプション）で、素早く正確なレーザ光の照射位置決めと、静止画像記録が可能です。振動周波数の解析範囲は最大100kHzで、対象に発生する振動の速度、加速度、変位の観測と各種の周波数解析が可能です。

初年度販売予定： 15 台
販売価格：
LV-0381 顕微鏡ユニット　¥2,500,000（税込 ¥2,625,000）
LV-0383 三次元顕微鏡ユニット　¥3,500,000（税込 ¥3,675,000）

2．製品の特長

① 微小物体、微小領域の振動検出（LV-0381/LV-0383）
最小2.5μm（LV-0381）のレーザスポット径での振動検出が可能です。
微小物体、微小領域を高い空間分解能で検出・評価する事ができます。

② X,Y,Z、3軸方向の振動の検出（LV-0383）
0.3Hz～100kHzの3軸方向の振動検出（LV-0383）が可能です。
圧電体のせん断方向に発生する横方向の振動、超音波振動も検出可能です。

③ 2 つの視野倍率で同時観察（LV-0381/LV-0383）
1280×960サイズのCMOSディジタルカメラで正確なレーザ光の位置決めが可能です。
レーザドップラ振動計LV-1800にLV-0181位置決め用内蔵カメラ（オプション）を装着する事で、大小2つの視野倍率で対象物のモニタとレーザ光の位置決め、画像記録をスピーティに行えます。

3．主なユーザー、これから利用が期待できる分野

デバイス・部品メーカ
MEMS、圧電素子、セラミックコンデンサ、小型VCMの計測評価

家電メーカ
家電一般の筺体振動、HDD（スライダ、ヘッド）の挙動評価

4．主な仕様

＜検出器＞
対応レーザドップラ振動計： LV-1800 / LV-1710 / LV-1720 / LV-1720A（各㈱小野測器製）

＜検出光学系＞
検出器マウント各機種共通： M22×0.5 長さ4
測定距離 LV-0381 ：使用対物レンズの焦点距離
LV-0383 ： 38.9 mm（LV-0151A 10×固定）
レーザスポット径 LV-0381 ： 2.5 μm（LV-0152A 20×使用時）
LV-0383 ： 4.5 μm（LV-0151A 10×固定）

＜対象観察装置＞
CMOS カメラ： 1280 × 960 （USB2.0 出力）
照明光源：同軸落射式白色LED 光源

＜レーザ製品の放射安全基準＞
レーザ安全クラス
LV-0381 ：クラス2
LV-0383 ：クラス3R

＜三次元光学系（LV-0383）＞
挟み角： 45°
挟み角調整： ±1°
倒れ角調整： ±1°

＜一般使用＞
質量 LV-0831 ： 15 kg
LV-0383 ：1 7 kg
基台アルミ（着磁用スチールプレート装着）
サイズ： 310 mm × 300 mm

小野測器では、充実のサポート体制で製品のバックアップをいたします。
また、お客様のご要望に応じたシステム提案、アプリケーションの開発も行います。
㈱小野測器　http://www.onosokki.co.jp/ お客様相談室 : 0120-388841

LV-0381