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産業機器向けシングルパッケージ6軸3D MEMS慣性力センサを開発【村田製作所】
2021年2月9日
産業機器向けシングルパッケージ6軸3D MEMS慣性力センサを開発
～作業現場用車両の自動運転化に貢献～
株式会社村田製作所（以下、「当社」）は、自動運転に対応した作業現場用車両向けに動的傾斜センシングおよび衛星測位システム（GNSS）を支援する6軸シングルパッケージ（6DoF）3D MEMS慣性力センサ「SCHA63Tシリーズ」（以下、「本製品」）を開発しました。
本製品は、これまでハイエンド慣性測定装置（IMU）モジュールでのみ可能だった、機械の動きや位置をセンチメートルレベルで検出する性能を実現しています。また、安全で堅牢性を持った設計を実現しました。バイアス安定性やノイズなどの主要なパラメータにおいて、コンポーネントレベルで高いパフォーマンスを発揮し、全測定軸の直交性を本製品が校正することにより、お客様やシステムインテグレーターの追加校正を省略することも可能です。また、高い機械的衝撃や振動にも耐えられるように設計しています。特許取得済みの当社の自己診断機能※1も備え、MEMS素子内部の動きから信号回路全体までの適切な動作が検証できます。車載対応品と同様にASIL D※2システム開発も対応しており、先進運転者支援システム（ADAS）や自律航法車両、衛星測位システム（GNSS）機器などの各システムの高精度化に貢献します。
※1 異常検知を自己で診断し、出力により知らせる機能。
※2 Automotive Safety Integrity Level（自動車安全水準）のこと。一般的にA < B < C < D の順に、
高いレベルの安全方策が求められる。
製品の特長
〇校正により、直交誤差が0.14°未満
〇優れた振動耐性
〇広範囲にわたる自己診断機能
製品仕様
主な用途
本製品は、正確な慣性データを必要とし、高精度かつ高信頼性を要求されるアプリケーションに適しています。衛星測位システム（GNSS）への統合により、信頼性が高く、頻繁に更新される慣性データを使用した、堅牢で正確な位置測定が可能です。
〇慣性測定装置 (IMU)
〇ナビゲーションと自己位置測定
・GPSアシスタンス、地形/姿勢補正
・測量用機器
〇機械制御・ガイダンス
・農業機械の高精度ガイダンス
・建設機械の自律性と運転者の支援
〇動的傾斜測定
・動作解析と制御
・プラットフォームとカメラのスタビライズ
〇ロボット制御や無人航空機
製品詳細は6DoF ジャイロ加速度コンボセンサ 「SCHA63Tシリーズ」をご確認ください。
ムラタについて
村田製作所はセラミックスをベースとした電子部品の開発・生産・販売を行っている世界的な総合電子部品メーカーです。独自に開発、蓄積している材料開発、プロセス開発、商品設計、生産技術、それらをサポートするソフトウェアや分析・評価などの技術基盤で独創的な製品を創出し、エレクトロニクス社会の発展に貢献していきます。
詳細はこちらのページをご覧ください。www.murata.com/ja-jp
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