6軸3D MEMS慣性力センサを開発【村田製作所】

2020年5月28日

6軸3D MEMS慣性力センサを開発

～ADAS・自動運転システムの高精度化に貢献～

株式会社村田製作所（以下、「当社」）は、ASIL D^※1を要求されるシステムに対応可能な6軸ワンパッケージ、3D MEMS慣性力センサ「SCHA600シリーズ」（以下、「本製品」）を開発しました。量産開始は2020年12月末を予定しています。

※1 　Automotive Safety Integrity Level（自動車安全水準）のこと。
　　　一般的にA < B < C < D の順に、高いレベルの安全方策が求められる。

近年自動車業界では、先進運転支援システム（ADAS）の高精度化により、衛星測位システム（GNSS）だけでは測位できないトンネル内や橋梁下での正確な車両位置を検知するセンサ技術が求められています。本製品は、独自の3D MEMSテクノロジー^※2を活用して、誤差数十センチレベルの測位を可能としており、先進運転支援システム（ADAS）や自動運転など各システムの高精度化に貢献します。

※2 　静電容量型の3D MEMS (3次元・マイクロ・エレクトロ・
　　　メカニカル・システム)のこと。シリコンを3次元構造に成形、優れたセンサ精度、
　　　小型のユニットサイズ、低消費電力を実現している。

本製品の特長

1. 車載システムの高性能化と設計自由度向上に貢献
独自の3DMEMS構造により、優れたバイアス安定性、低ノイズレベル、高い耐振動性を実現
3軸の角速度と加速度をワンパッケージ化したことにより、自由な設置が可能

2. 自己診断機能^※3
本製品の特徴であるフェイルセーフ機能は、リファレンス信号を用いたモニタリング、通信異常やbitエラーを検証するためのチェックサム、およびサチュレーションやオーバーレンジなどの異常信号の検出が可能です。また特許取得済みの当社の自己診断機能は、MEMS素子内部の動きから信号回路全体までの適切な動作を検証できるようになっています。

※3 　異常検知を自己で診断し、出力により知らせる機能

3. 車載システムの安全性に貢献
6軸慣性力センサとしてASIL Dの機能安全開発に応じたISO26262に対応
AEC-Q100^※4規格に準拠

※4 　Automobile Electronics Council（車載電子部品評議会）が定める集積回路・IC向けの業界標準