非接触表面・層断面形状計測システム VertScan®2.0

概要

垂直分解能、精度、計測スピードに最も優れた非接触表面形状計測。
透明積層体を非破壊で計測する層断面計測。
「光干渉方式」をベースにそれぞれ築き上げた二つのシステムを統合しました。

単なる3D観察だけではなく、高精度な定量化、信頼性のある測定再現性を求める「研究・開発」、「製造・品質保証」の方々に、さらに「使いさすさ」「わかりやすさ」を追求したシステムをご提供しようと開発を進めてきました。

その一つが、「計測」から「解析」まで、逸早く結果に到達できる菱化システムオリジナルのGUIです。
しかも、すべてが日本語です。

光干渉を用いた表面形状計測技術は、長い年月を経て、すでに確立されたものとして、優れた実績を誇っています。
この実績の上に新たにユニークな「層断面計測」を加えた「使いやすさ」が光る新システム、それがVertScan^®2.0です。

特徴

ラインナップ

● R3300G Lite /RBX3300G Lite
光干渉方式の特長である高速・高精度・高垂直分解能をそのままに低価格を実現し、汎用的な計測装置として、より多くの皆様方に使っていただくことを期待した画期的なモデルです。


● R5000モデル（R5200G / R5300G / R5500G）
広い視野サイズをカバーし、菱化リニク干渉計搭載可能な標準システムです。
長距離の層断面計測も可能です。

50mm及び150mmの自動XYステージを搭載できます。


● R6500G
シリーズ最上位機種です。
200mm移動の自動XYステージを搭載しています。波長フィルタ切替、レボルバ切替をPCから行うことが出来ます。

品質抜取検査のように大量の計測点及び、データ処理を行うときに最適なシステムです。