異物解析装置
ISO16232-7/8準拠 自動コンタミ検査システム
概要
ニコン製 光学顕微鏡、日本電子製 電子顕微鏡（SEM)、オックスフォード製EDS分析装置をリンケージするISO16232準拠の清浄度検査システムです。
小型、細密化する自動車部品の清浄度検査に、メーカーの壁を越えたトップクラスの装置の組み合わせにより、高精度な検査をシームレスに実現します。
特徴
【特長】
専用ホルダーにろ過フィルターをセットし、プログラムの実行をするだけで、自動的にフィルター全面をスキャンし、検出した異物の座標、形状、大きさ、個数を自動測定
さらにホルダーごと、SEM試料室へセットすれば、光学顕微鏡検査で取得済みの異物の位置へ自動的に移動、拡大し、形状評価とEDS分析を行います。
レポートもISO16232に準拠したフォーマットで簡単に出力できます。
【導入効果】
・光学顕微鏡と走査電子顕微鏡での異物座標のリンケージシステムにより、
走査電子顕微鏡での全面スキャンの必要が無くなり、検査のタクトタイムを
大幅に短縮可能
各異物の写真も保存されており、再度撮影する必要はございません
・顕微鏡、電子顕微鏡、分析装置として各単体でも使用することが可能です。
あえて、専用の装置とせず、各装置の機能は個別でもご使用いただけます。
・検査での個人誤差を排除したシステムのため、誰でもいつでも簡単に正確な
検査が可能
・アフターフォローも、国内拠点からの迅速なサポートが可能です。
【構成詳細】
・ニコン製 光学顕微鏡 オートフォーカス、XY自動ステージ、専用ホルダー付
・日本電子製 走査電子顕微鏡
・オックスフォード製 EDS分析装置
・三谷商事製 コンタミ解析ソフト（ステージ、顕微鏡制御機能付き）
