ISO16232-7/8準拠　自動コンタミ検査システム

概要

ニコン製　光学顕微鏡、日本電子製　電子顕微鏡（SEM)、オックスフォード製EDS分析装置をリンケージするISO16232準拠の清浄度検査システムです。

小型、細密化する自動車部品の清浄度検査に、メーカーの壁を越えたトップクラスの装置の組み合わせにより、高精度な検査をシームレスに実現します。

特徴

【特長】
専用ホルダーにろ過フィルターをセットし、プログラムの実行をするだけで、自動的にフィルター全面をスキャンし、検出した異物の座標、形状、大きさ、個数を自動測定

さらにホルダーごと、SEM試料室へセットすれば、光学顕微鏡検査で取得済みの異物の位置へ自動的に移動、拡大し、形状評価とEDS分析を行います。

レポートもISO16232に準拠したフォーマットで簡単に出力できます。


【導入効果】
・光学顕微鏡と走査電子顕微鏡での異物座標のリンケージシステムにより、
　走査電子顕微鏡での全面スキャンの必要が無くなり、検査のタクトタイムを
　大幅に短縮可能
　各異物の写真も保存されており、再度撮影する必要はございません

・顕微鏡、電子顕微鏡、分析装置として各単体でも使用することが可能です。
　あえて、専用の装置とせず、各装置の機能は個別でもご使用いただけます。

・検査での個人誤差を排除したシステムのため、誰でもいつでも簡単に正確な
　検査が可能

・アフターフォローも、国内拠点からの迅速なサポートが可能です。

【構成詳細】
・ニコン製　光学顕微鏡　オートフォーカス、XY自動ステージ、専用ホルダー付
・日本電子製　走査電子顕微鏡
・オックスフォード製　EDS分析装置
・三谷商事製　コンタミ解析ソフト（ステージ、顕微鏡制御機能付き）

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