超薄膜スクラッチ試験機ＣＳＲ-2000

概要

スクラッチ試験機
DLCやTiN等の硬質皮膜やメッキ膜の基材と膜の密着強度を評価するスクラッチ試験機を紹介いたします。成膜条件の選定や工程管理にご活用いただける試験機です。

特徴

スクラッチ試験機の概要
本試験機は、超硬合金などの金属面にPVD、CVDによって形成された硬質皮膜(Ti・TiN・SiC・DLC等)の密着強度(付着強度)の測定に優れた効果を発揮いたします。簡単な操作で定量的に測定を行えるスクラッチ試験法を採用しており、試料表面を荷重を増加させながら膜面を引っ掻き、膜の破壊を高感度に検出し、膜の破壊が発生した荷重(臨界荷重)をご提供いたします。機械部品、装飾品などや、耐久性の要求される切削工具や金型工具などのコーティング膜の評価に最適な試験機です。

スクラッチ試験機の特徴
・摩擦力の変化から膜の剥離点(破壊点)を検出します
・リアルタイムで印加荷重と摩擦力をグラフに表示します
・応力(摩擦力)と荷重値(印加荷重)を1本のセンサで検出できます
・フィードバックによる荷重制御で、印加荷重を直線的に増加させます
・ジョイステックを操作し、簡単に測定部位の設定を簡単に行うことができます
・AEセンサで破壊音を計測し、膜の剥離点の検出を追加することが出来ます(Option)

関連試験機
・膜厚がミクロン以下の薄膜を対象としたマイクロスクラッチ法を採用した超薄膜スクラッチ試験機
・膜の摩擦係数測定や摩耗評価を行う摩擦摩耗試験機