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200mm SiCウエハー対応　SiCエピタキシャル膜成長装置「ＰＥ-1○8 （イチマルハチ）」 2020年12月11日より日本でのテストマーケティング開始【LPE】

2020年12月11日 半導体製造装置の開発を行うイタリア企業のLPE（エルピーイー）S.p.A（本社：伊・ミラノ、代表： Franco Preti-フランコ・プレッティ-、以下LPE社）は、200mmのSiCウエハーに対応したSiCエピタキシャル膜成長装置ＰＥ-1○8（ピーイーイチマルハチ）のテストマーケティングを2020年12月11日より開始します...