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フッ化水素酸対応の液中パーティクルセンサ 「KS-20F」 を発売【リオン】

2022年2月10日 　  フッ化水素酸対応の液中パーティクルセンサ 「KS-20F」 を発売 薬液中の0.02㎛粒子まで測定可能 　  リオン株式会社（本社：東京都国分寺市、代表取締役社長：清水健一）は、最先端の半導体製造現場などの品質管理におけるフッ化水素酸溶液に対応した液中微粒子計...

フォトレジスト溶液やSOG溶液の粒子を0.1μmから測定可能な液中パーティクルセンサを発売【リオン】

2013年1月17日 リオンは、新光学系を採用し、背景光を大幅に低減することで、今まで難しかったフォトレジスト溶液中の粒子を0.1μmから測定可能な液中パーティクルセンサ「KS-41B」を開発し、2013年1月28日から販売を開始します。 フォトレジスト溶液中パーティクルセンサについて フォトレジストは、半導体素子の...