統合シミュレーション

MEMS用統合解析ソフトIntelliSuite

概要

IntelliSuiteは、米国のIntelliSense社で開発された、半導体素子の製造工程を利用したマイクロマシン(MEMS)の製造工程の検討から、デバイスの性能評価まで一貫して検討することを目的とした、統合型の設計・解析ソフトウェアです。
IntelliSuiteはMEMS設計における、プロセス設計、デバイス構造設計のボトムアップ設計とシステム設計、概略設計、コスト設計のトップダウン設計を統合することを可能としています。トップダウン手法による設計選択の迅速で広範囲な探索、ボトムアップ手法による製造のための精度の高い設計。IntelliSuiteは、それらを独自の方法で統合し、製品の迅速かつ的確な開発、改良のための設計環境を提供します。

IntelliSense社は、1991年に設立され、マイクロファブリケーションのコンサルティング及びソフトウェアの開発を開始しました。1995年には当時全米で最初のMEMS専用ファウンダリー設備を開設。また、IntelliSense社はMEMS業界の会社としては初めて、1999 年New England Technology Fast50というアメリカ・ニューイングランドにおける、短期間で成長したテクノロジー関連の会社、50社中に選ばれており、現在は、2006年に中国南京に設立した支社でMEMSファウンダリー設備を開設し、ソフトウェアとハードウェアサービスにより顧客のMEMSビジネスをサポートするTotal MEMS Solutionを提供し続けております。

特徴

・プロセスファブリケーションシミュレーション機能
・プロセスによる薄膜物性への影響の考慮
・異方性Wet,Dryエッチングシミュレーターを装備
・MEMSデバイス専用3Dモデリングツール
・2Dマスクファイルの作成/インポート/エクスポート
・MEMS専用連成物理場解析ソルバー
・MEMSパッケージ解析
・MEMS構造パラメータシステム解析
・MEMS動的システムモデルの抽出機能
・MEMS用システム解析
・EDAツールの連携機能


・画像データ






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