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両面スパッタ装置の開発完了について【オプトラン】

2019年9月3日 　弊社は、両面成膜可能な新型スパッタ装置（OWLS-1800D）を開発完了いたしましたのでお知らせいたします。 　特徴は、基板成膜面が上向き・下向き・両面同時の３種類の成膜方式に対して、１台の装置で対応可能であり、お客様の成膜ニーズに柔軟に対応できます。 　また、従来、ウエハーの両面を成膜...